Осипов Артём Арменакович

Тема диссертации: Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности
Степень: кандидат наук
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Отрасль наук: Технические науки
Научные руководители: Александров Сергей Евгеньевич , доктор наук , профессор , СПбПУ, Кафедра "Физико-химия и технологии микросистемной техники" , Зав. кафедрой (отзыв научного руководителя: — )
Диссертационный совет: Д 212.229.02
Дата размещения диссертации: 25.12.2018
Принятие к предварительному рассмотрению: 29.01.2019
Принятие к защите: 21.02.2019
Дата защиты (план): 16.05.2019
Текст диссертации скачать
Автореферат диссертации

Ведущая организация

Короткое название: ФТИ им. А.Ф. Иоффе
Полное название: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Местонахождение: Россия, г. Санкт-Петербург
Почтовый адрес: 194021, Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26
Телефон: +7(812) 297-2245
Адрес электронной почты: cG9zdEBtYWlsLmlvZmZlLnJ1
Веб-сайт: http://www.ioffe.ru/
Основные публикации: скачать
Отзыв организации:

Первый официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Киреев Валерий Юрьевич
Степень, звание: доктор технических наук , старший научный сотрудник
Научная специальность: 05.27.01, Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Место работы, должность: «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» , Профессор кафедры «Проектирования и конструирования интегральных микросхем»
Основные публикации:
Отзыв первого оппонента:

Второй официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Гудовских Александр Сергеевич
Степень, звание: доктор технических наук , без звания
Научная специальность: 05.27.01, Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Место работы, должность: «Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук» (Академический университет) , ведущий научный сотрудник
Основные публикации:
Отзыв второго оппонента:

Отзывы на автореферат и диссертацию

Фамилия, имя, отчество Место работы Должность Отзыв