Спешилова Анастасия Борисовна

Тема диссертации: Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
Степень: кандидат наук
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Отрасль наук: Технические науки
Научные руководители: Александров Сергей Евгеньевич , доктор наук , профессор , ФГАОУ ВО СПбПУ , Заведующий кафедрой «Физико-химия и технология микросистемной техники» (отзыв научного руководителя: — )
Диссертационный совет: Д 212.229.02
Дата размещения диссертации: 25.12.2018
Принятие к защите:
Дата защиты (план):
Текст диссертации скачать
Автореферат диссертации

Ведущая организация

Короткое название:
Полное название:
Местонахождение:
Почтовый адрес:
Телефон:
Адрес электронной почты:
Веб-сайт:
Основные публикации:
Отзыв организации:

Отзывы на автореферат и диссертацию

Фамилия, имя, отчество Место работы Должность Отзыв