Спешилова Анастасия Борисовна

Тема диссертации: Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
Степень: кандидат наук
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Отрасль наук: Технические науки
Научные руководители: Александров Сергей Евгеньевич , доктор наук , профессор , ФГАОУ ВО СПбПУ , Заведующий кафедрой «Физико-химия и технология микросистемной техники» (отзыв научного руководителя: скачать )
Диссертационный совет: Д 212.229.02
Дата размещения диссертации: 25.12.2018
Принятие к предварительному рассмотрению: 29.01.2019
Принятие к защите: 21.02.2019
Дата защиты (план): 16.05.2019
Текст диссертации скачать
Автореферат диссертации скачать

Ведущая организация

Короткое название: АО «СВЕТЛАНА РОСТ»
Полное название: Акционерное общество «СВЕТЛАНА РОСТ»
Местонахождение: Россия, Санкт-Петербург, пр. Энгельса д. 27
Почтовый адрес: 194156, Россия, Санкт-Петербург, пр. Энгельса д. 27
Телефон: +7 (812) 313-54-51
Адрес электронной почты: aW5mb0BzdnJvc3QucnU=
Веб-сайт: http://www.svetlana-rost.ru
Основные публикации: скачать
Отзыв организации: скачать

Первый официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Ежовский Юрий Константинович
Степень, звание: доктор химических наук , профессор
Научная специальность: 02.00.21, Химия твердого тела
Место работы, должность: «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)» , Профессор кафедры химической нанотехнологии и материалов электронной техники
Основные публикации: скачать
Отзыв первого оппонента: скачать

Второй официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Земляков Валерий Евгеньевич
Степень, звание: кандидат технических наук , без звания
Научная специальность: 05.27.01, Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Место работы, должность: «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ) , ведущий научный сотрудник кафедры квантовой физики и наноэлектроники
Основные публикации: скачать
Отзыв второго оппонента: скачать

Отзывы на автореферат и диссертацию

Фамилия, имя, отчество Место работы Должность Отзыв
Дзюбаненко Сергей Владимирович ОАО «Авангард», г. Санкт-Петербург Начальник отдела технологии изделий микросистемной техники4 скачать
Кондратьев Александр Сергеевич ЦНИИ РТК, г. Санкт-Петербург Заместитель директора ЦНИИ РТК скачать
Малеев Николай Анатольевич ФТИ им. А.Ф. Иоффе, г. Санкт-Петербург Старший научный сотрудник лаборатории физики полупроводниковых гетероструктур скачать
Попова Ирина Валерьевна АО «Гирооптика», г. Санкт-Петербург Генеральный директор скачать
Николайчук Галина Александровна АО «НИИ «Феррит-Домен», г. Санкт-Петербург Начальник отдела наноматериалов и СВЧ приборов на их основе скачать
Беленький Борис Петрович АО «НИИ «Гириконд», г. Санкт-Петербург Заместитель генерального директора по науке скачать
Кондратьева Анастасия Сергеевна ООО «СНДГруп», г. Санкт-Петербург Заместитель генерального директора скачать

Результаты рассмотрения диссертации

Дата заседания совета: 16.05.2019
Присутствовавшие члены совета: Александров С.Е., Михайлов М.Д., Семенча А.В., Архипов А.В., Брунков П.Н., Гасумянц В.Э., Голубок А.О., Демидов А.И., Козловский В.В., Колгатин С.Н., Малыгин А.А., Мишин М.В., Подсвиров О.А., Розанов Л.Н., Соминский Г.Г., Таганцев Д.К., Титов А.И., Толочко О.В., Филимонов А.В.
Решение совета: присуждение учёной степени
Файл с заключением совета: скачать