Спешилова Анастасия Борисовна

Тема диссертации: Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
Степень: кандидат наук
Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Отрасль наук: Технические науки
Научные руководители: Александров Сергей Евгеньевич , доктор наук , профессор , ФГАОУ ВО СПбПУ , Заведующий кафедрой «Физико-химия и технология микросистемной техники» (отзыв научного руководителя: — )
Диссертационный совет: Д 212.229.02
Дата размещения диссертации: 25.12.2018
Принятие к предварительному рассмотрению: 29.01.2019
Принятие к защите: 21.02.2019
Дата защиты (план): 16.05.2019
Текст диссертации скачать
Автореферат диссертации

Ведущая организация

Короткое название: АО «СВЕТЛАНА РОСТ»
Полное название: Акционерное общество «СВЕТЛАНА РОСТ»
Местонахождение: Россия, Санкт-Петербург, пр. Энгельса д. 27
Почтовый адрес: 194156, Россия, Санкт-Петербург, пр. Энгельса д. 27
Телефон: +7 (812) 313-54-51
Адрес электронной почты: aW5mb0BzdnJvc3QucnU=
Веб-сайт: http://www.svetlana-rost.ru
Основные публикации: скачать
Отзыв организации:

Первый официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Ежовский Юрий Константинович
Степень, звание: доктор химических наук , профессор
Научная специальность: 02.00.21, Химия твердого тела
Место работы, должность: «Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)» , Профессор кафедры химической нанотехнологии и материалов электронной техники
Основные публикации:
Отзыв первого оппонента:

Второй официальный оппонент

Фамилия, имя, отчество: Земляков Валерий Евгеньевич
Степень, звание: кандидат технических наук , без звания
Научная специальность: 05.27.01, Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
Место работы, должность: «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (НИУ МИЭТ) , ведущий научный сотрудник кафедры квантовой физики и наноэлектроники
Основные публикации:
Отзыв второго оппонента:

Отзывы на автореферат и диссертацию

Фамилия, имя, отчество Место работы Должность Отзыв